このコーナーでは、今回クリーン化オレンジが見事お悩み解決した3Ｃラボの秘密兵器、「落下塵カウンター」について、さらに深堀りしていきます。
落下塵カウンターってどんな装置？
付着ダストの調査に。
10μｍ以上の粗大粒子を分級しカウントします！
歩留り向上のために本当に知りたいのは、空気中に浮遊しているダストではありません！
製品の表面にくっつくダストです！！
製品に付着するゴミ・異物を少なくするには、浮遊塵の把握だけでは不十分。
敵はそう、落下塵！
ふわふわと空気中に漂いながら、いつ落ちるともわからないいい加減なヤツ。
それでいて気づいた時には落ちている（それも相当量）つかみどころのないヤツ。
そんな落下塵をきっちり測るのが、この落下塵カウンターです！
ISO14644-9（表面清浄度規格）に準拠
浮遊塵ではなく「付着塵」を測定できる特殊測定器
検査方法は簡単。
1）測定用ウエハを一定期間設置する
2）回収してそっと測定器の中へ
3）測定！
4）パソコンでデータ化。もちろん保存も。
こちが測定結果です。
まるでプラネタリウムを見ているようではありませんか！
