粗大粒子の変化をキャッチする3つの方法

ズバリ解決！3Cラボでもお話したように、「漂っているゴミ」は気流のコントロールによりフィルターで補修します。

ですので、クリーンルーム内から排出可能ですが、「落ちてくるゴミ」である粗大粒子は落下してしまうため直接クリーン機器では除去できません。

そのため粗大粒子対策で大切なことは、粗大粒子の動きや変化を「見える化」し不良をまねく原因を究明することです。

粗大粒子の変化はサンプリングで「見える化」できます！

どう見える化するのか、そのノウハウをご紹介していきますね！

粗大粒子見える化その①　高さ方向の測定

粗大粒子は人の歩行やエアコンの風などで、舞い上がり飛散します。

4インチシリコンウエハを様々な高さ方向に置き落下塵のサンプリングを行うことで、どの粒子がどの高さまで舞い上がるのかを測定、定量化が可能です。

実験動画を生産環境クリーンちゃんねるで公開していますのでご覧ください。

乾燥炉などの装置内でもゴミ・異物は発生します。

そんな時におすすめなのが2インチウエハを使ったサンプリングです。

ウエハは直径わずか50mmで、板の素材はシリコンのため、乾燥炉などの温度が高い場所や装置内の狭い場所、自動組立てラインなどにも設置が可能です。

クリーン機器では除去できない粗大粒子は、清掃で除去するしかありません。

しかし、清掃時の動作により粗大粒子を再飛散させてしまうことはよくあります。

そんな本末転倒な状況をつくらないため、粗大粒子が飛散して欲しくない場所のサンプルを行い、飛散を最小限に抑える清掃方法を見つけることが大切です。

清掃のタイミングを変えたり、清掃方法を変えて調査して行くと、飛散が少ない清掃方法が数値として見えてくると思います。

シリコンウエハを上手に使ってサンプリングすることで、落下塵カウンターでの測定データをより有効に活用いただけます。

落下塵カウンターの測定サービスや、レンタルサービスもあるので

お気軽にお声かけしてほしいのじゃ！