クリーンルーム内で製品の組み立てを行っている相談者さんは、なかなかゴミ・異物付着による不良が減らず困っているようです。
空調や使用している設備にゴミ・異物が堆積しないよう定期的に清掃も行い、不良率は少しずつ減少しているのですが、まだまだ目標レベルまでは達していません。
他にどんなポイントに気を付ければよいのでしょうか？
ゴミ・異物不良を低減させるため、クリーンルーム内の清掃を日々行ったり、ゴミ・異物対策を見直したりしていますが、不良率が下がりません。
何か見落としているのでしょうか・・・？
（ラボボス）
日々のクリーンルーム清掃や有効なゴミ・異物対策を継続的に探索しているなんて素晴らしいのぉ～！
それでも不良が減らないということは、日常的な動きが原因となっているかもしれないのじゃ。
動き、ですか？
（ラボボス）
その通り！クリーン化オレンジ！出番じゃ！
オレンジ
合点承知！
不良率が下がらないと空調や設備に目が向きがちだけど、実は作業者の“歩行”がゴミ・異物の発生源となっているかもしれないよ！
私たちが歩くたびにゴミ・異物が拡散されているかもしれないということですね。
思わぬ原因に驚いています。
オレンジ
そうだよね～！意外と見落としがちな歩行による影響について今回は解説するよ～！
見落としがちな盲点！作業者の「歩行」が引き起こす異物の拡散
クリーンルーム内のゴミ・異物不良低減のため、気流の流れを確認したり、クリーンルームを定期的に清掃したりといった対策を講じている現場もあるのではないでしょうか。
しかし、作業者の“歩行”がゴミ・異物の発生源となっているケースがあります。
床面には目に見えないホコリや繊維クズといったゴミ・異物が常に存在しています。
作業者が歩くことによって床付近の空気がかき乱され、付着していたゴミ・異物が空中へ舞い上がります。
ある実験では、歩行によって舞い上がったゴミ・異物が約90cmの高さまで到達することが確認されています。
具体的に90cmの高さというと、作業用のテーブルや作業台とほぼ同じ高さです。
つまり、床に落ちていたゴミ・異物が作業者の歩く動作によって舞い上がり、そのまま製品が置かれている作業台へ付着、堆積する恐れがあるのです。
舞い上がったゴミ・異物の行方
歩行により舞い上がったゴミ・異物は、作業台に近い高さまで上昇した後、重力に従って床へ落下します。
しかし、この落下には意外と長い時間がかかります。
例えば、高さ2mの位置から粒子が落下し、床面へ付着するまでの時間は以下の通りです。
100μm粒子：約8秒
10μm粒子：約11分
4μm粒子：約1時間
100μmクラスの比較的大きなゴミ・異物であれば短時間で落下しますが、10μm以下の微細な粒子になると長時間空中を漂い続けます。
その間に気流の影響を受けて移動し、製品や治具へ付着するリスクが高まります。
つまり、ゴミ・異物対策では「浮遊しているホコリ」だけでなく、「床に堆積しているホコリ」にも注目しなければなりません。
床面に付着しているゴミ・異物を正しく把握しよう
いくらクリーンルームの設計された空調で浮遊塵を除去していても、床面にゴミ・異物が蓄積していれば、作業者の歩行や台車の移動によって何度でも再飛散してしまいます。
ゴミ・異物不良を減らすためには、床面に堆積しているゴミ・異物を定期的に除去し、舞い上がりの原因そのものを減らすことが重要です。
しかし、通常目視で認識が難しい10〜100μmのゴミ・異物の付着状況を正確に把握することは難しいですよね。
そこで、ゴミ・異物による汚染状況の“見える化”をおすすめします。
①見える化ライト
通常環境下では見えづらい・見えないゴミ・異物を照射するだけで簡単に可視化させるライトです。
NCCのオリジナルライト「クリーンチェックライト」は、非常に強い直進光により、通常は見えにくい10μm以上のゴミ・異物を目視で確認できるようにします。
中でも、ZEUSやエムギアは照射範囲が広いため、床面に付着したゴミ・異物の確認に最適です。
付着塵だけでなく、空間を照射することで浮遊塵も確認できるため、作業者の動きによってホコリがどのように舞い上がるのか実際に見て把握できます。
②ゴミ・異物測定機器
ダストサンプラーやシリコンウエハを床面など計測したい箇所に一定時間設置し、採取したゴミ・異物を専用の計測器でカウントすることで、床面の汚染状況を数値で把握できます。
床面に堆積しているゴミ・異物は10μm以上の粗大粒子と呼ばれる異物です。
本測定方法は、粗大粒子が気流に乗りながら空気中を浮遊し、最終的に床へ落下する性質を利用しています。
NCCでは対象のゴミ・異物のサイズごとに以下2種類の測定方法をおすすめしています。
- 落下塵カウンター：シリコンウエハで10μm〜100μmのゴミ・異物をサンプルし、専用の測定機器で分級・カウントします。
- ダスカー：微粘着のダストサンプラーで100μm以上のゴミ・異物を確実に捕集し、分級・カウントします。
もし「清浄度は良いのに異物不良が発生する」という場合は、一度見える化ライトやゴミ・異物測定機器で、床面や作業環境の堆積異物を可視化してみましょう。
定期的な清掃や対策を実施していても、目に見えず認識していないゴミ・異物が、意外にも足元に潜んでいるかもしれません。
なるほど～！床にゴミ・異物が堆積していると作業者が歩いたり台車が通ったりしたときに、そのゴミ・異物が舞い上がって製品に
オレンジ
それだけゴミ・異物が堆積しているか目で見ることで、作業者のキレイに対する意識が向上したという現場も実際にあるよ～！
ぜひ試してみてね！
床面のゴミ・異物を少しでも除去できるよう日々の清掃が大事だと理解していますが、どのような清掃が効果的なのでしょうか？
オレンジ
おいらが簡単かつ効果的な清掃方法を必殺技で紹介するよ～！
ご相談・お問い合わせはこちらなのだぁ～！
