クリーンルームに限らず、塗装工程におけるゴミ・ブツ問題は永遠の課題であり、その管理に困っている方は多くいます。
浮遊粒子の数値化に適しているパーティクルカウンターで測定しても、数値が暴れて管理が難しくなると頼みの綱がきれてしまったように、どのように対策すれば良いか分からないという方が多くいます。
実際、パーティクルカウンターは気中を浮遊する微小粒子を測定するために開発された測定機のため、粗大粒子(10µｍ以上）の測定には適しているといえません。
そこで今回は、粗大粒子を管理するために開発された測定機を２種類ご紹介します。
同じ粗大粒子でも大きさや材質によってサンプリング方法を変えた方が良い場合があるため、対象に合わせた使い分けも必要です。
落下塵カウンター
シリコンウエハで粗大粒子をサンプルし、大きさのランク別にカウントを行える測定機です。
10µｍから100µｍの範囲で分級ができ、分級範囲を任意に変更できる機能も便利です。
4インチ(φ100mm)と2インチ(φ50mm)の2種類の大きさのウエハが使えるメリットがあり、2インチウエハは装置の中など狭い場所のサンプリングに活躍します。
そのままFTIR（えふてぃーあいあーる）などで分析を行うこともでき、とても便利です。
サンプル板がシリコンなので温度の高い乾燥炉やベーク炉内のサンプルも可能です。
さらに！これまでは専用パソコンをスタンドアローンで使っていただいていましたが、ネットワーク接続が可能になりパワーアップしました。
ですので今後は、測定データを共有サーバーを介してご覧いただけるようになります。
落下塵カウンターの詳細はこちら ⇒ 付着ダストの調査に! 『落下塵カウンター』
ダスカー🄬100BLACK
専用の粘着シートで粗大粒子をサンプルし、大きさのランク別にカウントを行う測定機です。
サイズは100µｍから500µｍの範囲で分級ができ、比較的大きな繊維ゴミなどの調査にとても便利です。
100µｍ以上の粗大粒子よりも大きいマクロパーティクルは質量が大きいため、気流で再飛散し易くシリコンウエハではうまくサンプリングできません。
それに比べて粘着シートでサンプルするので、大きな異物も安定して採取可能です。
初期費用が比較的安価なことと、測定機のメンテナンスなどがほとんど必要ないので、初めて異物調査をする場合におすすめです。
ダスカー®100BLACKの詳細はこちら ⇒ 初めての異物調査に『ダスカー®100 BLACK』
