ファンフィルターユニット

ファンフィルターユニットとは、FFUと呼ばれ、プレフィルター、HEPA（へぱ）フィルターなどのメインフィルター、そしてファンユニットで構成されていて、クリーンルームやクリーンブース等に清浄な空気を供給する装置です。

ファンフィルターユニットは、ファンで吸い込んだ外気、もしくは室内の空気をフィルターを通して清浄化し、クリーンエアーとして室内へ送り出すというシンプルな構造です。

この喚起の方法には、主に「オールフレッシュ式」と「循環式」の2種類があります。

オールフレッシュ式は、外気を取り入れ、クリーンエアーを室内に送り込む方法で、室内を循環していた汚染されている空気は外へ自然排出されます。

有機溶剤を使用する環境や、空気の汚染度が高い環境、常に高い洗浄レベルを維持しなければならない現場で多く扱われています。

循環式は、室内の空気をファンフィルターユニットに吸気し清浄化させ、再び室内に戻して室内環境を維持する方法です。

作業内容によって室内の発塵量が少ない場合はフィルターの交換頻度は低くなり、メンテナンスに掛かる手間やコストが小さく済みます。

一方で、ドアの開閉回数が多い現場では室内への粉塵侵入により復元性が悪くなり、清浄度を保ちづらいこともあります。

ファンフィルターユニットに内蔵されているフィルターはHEPAやULPA（うるぱ）と呼ばれ、異物を取り除き清浄な空気を送り出す役割を果たしています。

HEPAフィルターとは、High Efficiency Particulate Air Filterを略

「定格風量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率を持ち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルター」したもので、ホコリやウイルスといった空気中の微細粒子を捕集できる高性能フィルターです。

JIS規格において、「定格風量で粒径0.3μmの粒子に対し、99.97％以上の粒子捕集率を有しており、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルター」と規定されています。

直径1～10μm以下のガラス繊維でできた濾紙を蛇腹に折り畳み、微細粒子をキャッチする仕組みとなっています。

ULPAフィルターとは、Ultra Low Penetration Air Filterを略したもので、HEPAよりも粒子捕集率が高く、0.1µm程度の微少粒子を除去することが可能です。

しかし、高い濾材密度や空気抵抗を下げるための薄い濾材によって強度はHEPAよりも弱いため、取り扱いには注意が必要です。

JIS規格において、「定格風量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率を持ち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルター」と定義されています。