局所クリーン化(きょくしょ-くりーんか)とは?
「局所クリーン化」とは、読んで字の如く「クリーン化」を「局所=部分的」に行うこと。
なぜ局所的に行うのか? なぜそれが必要なのか? すんなりと理解するために、まずはクリーン化の歴史からおさらいしてみましょう。
クリーン化の歴史
クリーン化の歴史をさかのぼると、第2次世界大戦時代のアメリカにたどり着きます。
粉塵の多い環境下で製作された航空機等の精密部品には、故障が多いことが明らかになりました。
そこで、製造工程を粉塵の少ない所で行うようになった。これが「クリーンルーム」の始まりだと言われています。
そして、クリーンルーム技術は、第2次世界大戦時に米国で放射性微粒子除去用として誕生した「HEPA(High Efficiency Particulate Air)」フィルタを基礎として、アポロ計画や半導体技術の進展とともに発展してきています。
*出展;早わかりQ&A クリーンルームの設計・施工マニュアル【改訂版】日本工業出版
このように、クリーン化技術は半導体産業を中心に進歩して来ましたが、現在では多くのものづくりの現場で必要な技術となっています。
局所クリーン化って?
局所クリーン化の技術は、半導体産業の進歩の中で既存のクリーンルームの改善策として、クリーンルームの中に更にクリーン度のレベルが良いエリアを作るために生まれた技術です。クリーンベンチ、クリーンブースなどが代表的なものになります。
近年の半導体の先端工場は、省電力・低ランニングコスト技術として、クリーンルームすべてのエリアの清浄化からウェーハ周辺のみを清浄化する局所クリーン化技術が主流となって来ています。
半導体以外の業界では、装置や材料、製造プロセスなどがクリーン化を意識して作られていないことが多いため、発塵が多い環境のなかでゴミ・異物を減らす努力が続けられて来ました。その解決策として、局所クリーン化の技術が応用されるようになっています。
精密加工が必要になった多くの業界で、製品を処理する工程や製品が露出する工程を中心に、クリーン環境を構築する技術として期待されています。
「クリーンブース」やFFU(ファンフィルターユニット:Fan Filter Unit)を使って清浄な空気で気流をコントロールすることによって、クリーンな空間を作ることができます。
クリーンブースやFFUの活用事例
医療機関でも感染症対策で陰圧室やプッシュプル方式の局所クリーン化が普及しており、新型コロナウィルスの感染対策としても効果的に活用されています。
囲わなくてもスーパークリーンを実現できる「KOACH(コーチ)」も局所クリーン化の発想から生まれています。
局所クリーン化を行う前に、製品目線で(1)加工点、(2)保管場所、(3)搬送系がどこなのか明確にし、各エリア毎に作業者の動線も含めて立ち入り制限区域などのゾーニングを行います。
そして、製品にゴミが付着すると不良になるエリアを洗い出し、そのエリアを局所クリーン化します。
局所クリーン化の技術は、クリーンルーム以上に管理がとても重要になって来ます。
製品の保管や作業エリア全体の気流管理、定期的な清掃など、クリーン化四原則に従った維持管理を行う事でゴミ・異物不良を低減し続けることができます。