「クリーンルーム=キレイ」は間違い!不良防止を正しい清掃で!でもお伝えしたように清掃には3種類、「日常清掃」「定期清掃」「特別清掃」があり、それぞれの内容についてご紹介します。
① 日常清掃
前日あるいはその日に発生したホコリの除去を目的として、基本的にクリーンルーム内で作業している方が行います。方法はクリーンルーム用掃除機と水拭きを中心に行い、1日のうちで1回以上、時間を決めて行いましょう。
② 定期清掃
日常清掃で清掃しきれないで溜まって来たホコリの除去と、普段は手の届かない場所に堆積してしまったホコリの除去を目的として行います。半年に1回程度を目安とし、時間を取って各作業工程、共通エリアなど定められた頻度で実施することをお勧めします。
③ 特別清掃
機器のレイアウト変更、間仕切り変更、機械装置の搬入・搬出、事故などで汚染が起きた場合(通常とは違う状況)に実施します。作業内容は「定期清掃」に準ずるものとしますが、事前打ち合わせを確実に行い、求めるレベルを明確にしておく必要があります。
「定期清掃」「特別清掃」は専門的な知識、道具を必要とする場合があるほか、高所での作業もあるため専門業者に依頼することもお勧めします。
いずれにしても、「清掃」という行為はクリーンルーム内で行われる作業としては動作も大きいため、清掃の行為自体が発塵の原因になりかねません。
清掃前にいつ、だれが、どのように清掃するのか確認し、余計な動きで発塵を促さないよう注意しましょう。