ISOクラス

ISOクラスとは?

 

ISOは国際規格のことで、クリーンルームの清浄度はISO14644-1で規定されています。(2015年版)

日本ではISO14644-1に準拠して日本工業規格JIS B 9920-1も制定されています。

 

ISO14644-1では0.1μmの粒子が1㎥(1000リットル)中に何個あるかでクラス別けされています。

0.1μmが10ヶ有るとクラス1、1000ヶでクラス3となります。1000は10の3乗、つまり10の何乗になっているかでクラスを規定しています。

 

一方、一般的に使われているクラス1000とか10000はアメリカで制定された規格に基づいたクラス表現で、0.5μmの粒子が1ft3(キュービックフィート≒28.3リットル)中に何個あるかでクラス別けされています。

0.5μmが10ヶ有るとクラス10、1000ヶでクラス1000となります。

 

ISOと基準にしている粒子の大きさや気体の体積が異なるのでややこしいですね。

 

国際規格としてはISOに統一され、Fed.Std.は廃止されていますが、物の基準ってなかなか変えられないのが世の常と言ったところでしょうか。まだまだ実際の現場環境ではクラス1000とかクラス10000とかの方が良く使われているようです。

 

参考;ISOクラスとFed.Std.クラスの比較表

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